1

光源

燈管類型

LED

2

燈管廠家(品牌)

日本

3

燈管波長

365nm 365+405nm

4　

燈管光強(qiáng)

新燈管光強(qiáng)強(qiáng)度5-50MW/CM2

5　

均勻度要求（9點(diǎn)測量）

均勻度≥95%

6　

平行半角≤2度

利用光斑計(jì)算三角形的直角邊得到夾角

7

燈管保證使用壽命（H）

20000H

8

對(duì)位

CCD

4個(gè)(紅外\黃光)

9

CCD分辨率(像素)

200萬

10

對(duì)位方式

自動(dòng)抓靶對(duì)位

11

對(duì)位形式

A.上底片與下底片之間自動(dòng)對(duì)位。
  B.上底片與制程板之間自動(dòng)對(duì)位(孔或PAD)

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對(duì)位精度

一次熔絲上下菲林對(duì)位精度小于15um
  二次菲林與產(chǎn)品對(duì)位精度小于15um

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解析能力

最小解析線寬能力

25um

14

性能要求

制作板子厚度

0.1--2mm

15

有效曝光面積

6*6英寸（實(shí)際曝光面積需要大于6*6英寸）

16

產(chǎn)能要求

3-4片/min，從上板到下板

17

操作方式

觸控式操作界面

18

曝光方式

雙面曝光

19

底片安裝方式

上下底片真空吸附，自動(dòng)安裝。

20

作業(yè)產(chǎn)品

干膜

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機(jī)臺(tái)尺寸

高*長*寬：1800*1200*1200

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真空值、真空均勻性能力

大于-80kpa

23

臺(tái)面平整性

≤0.1mm

24

底片架設(shè)

半自動(dòng)

25

作業(yè)方式

底片安裝（作業(yè)員）→放入基板后（作業(yè)員）→上下底片自動(dòng)對(duì)位（上下底片與產(chǎn)品自動(dòng)對(duì)位）→對(duì)位判定OK后→開始抽真空→真空達(dá)到要求后進(jìn)行自動(dòng)曝光→曝光完成后自動(dòng)出料（曝光結(jié)束）

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附加功能

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、

可增加掃碼功能,作業(yè),對(duì)位數(shù)據(jù)存儲(chǔ)